JEBG系列大功率電子槍是用來(lái)在真空中蒸發(fā)或熔解金屬及氧化物的大功率電子束發(fā)生源，能在寬幅塑料及大面積玻璃基板上持續(xù)、高速率地鍍膜，還可應(yīng)用于電子束熔煉，用于高熔點(diǎn)金屬鑄錠的制備及精煉。

電子束能大范圍地快速掃描，通過(guò)專用的控制裝置和軟件，能生成各種電子束照射圖形和區(qū)域。由于能夠在各個(gè)照射位置上設(shè)定掃描、停留時(shí)間、輸出功率及電子束形狀，因而能夠控制熔融面和膜厚分布。

用途

• 真空蒸鍍
  阻隔膜、保護(hù)膜、電極膜、導(dǎo)電膜、磁性膜等薄膜的形成。

• 真空熔解
  Ti、Ta、Nb、 Mo等高熔點(diǎn)金屬鑄錠的制備及精煉。
  提煉太陽(yáng)能電池的多晶硅