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BS-80011BPG產(chǎn)生高密度等離子體的內(nèi)置型等離子體槍

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BS-80020CPPS是用于輔助低溫（100℃以下等）下塑料基板和膠片成膜的等離子體源

詳細(xì)介紹

最大放電輸出3.2kW (160V, 20A)
最大輔助輸出功率2kW (200V, 10A)
工作壓力8×10-3 ～ 8×10-2Pa (Ar, O2, N2 氣氛)
放電氣體(Ar)8 ～  20mL/分
適用控制電源BS-92040CPPC