檢測元素范圍 | WDS: Be*1 / B to U, EDS: Be to U |
檢測X-ray 范圍 | 波長范圍WDS: 0.087 to 9.3 nm 能量范圍EDS: 20 keV |
譜儀數(shù) | WDS: 最多5個可選, EDS: 1個 |
最大樣品尺寸 | 100 mm × 100 mm × 50 mm (H) |
加速電壓 | 0.2 to 30 kV (0.1 kV steps) |
探針電流范圍 | 1 pA to 10 μA |
探針電流穩(wěn)定性 | ± 0.05% / h, ± 0.3% / 12 h(W) |
二次電子像分辨率(觀察模式) | 6 nm(W), 5 nm(LaB6)*3 |
掃描放大倍率 | ×40 to 300,000 (W.D. 11 mm) |
掃描圖像分辨率 | Maxium 5,120 × 3,840 |